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化学气相沉积系统
等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）
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可实现低温、无需催化剂、在多种衬底上（如金属、氧化物、半导体表面）直接生长均匀的石墨烯纳米晶薄膜、氮化硼等二维材料。
等离子体修饰系统
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基于氢等离子体的干法刻蚀技术可对石墨烯的面内各向异性刻蚀，形成特定的、原子级平整的边界。
压电纳米位移台
压电直线纳米位移台
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直线运动纳米压电马达位移平台提供行程从±7.5mm到±92mm的不同规格的标准化产品，移动分辨率最小可达0.05nm。提供开环和闭环控制版本、大气和真空兼容版本。
压电旋转纳米位移台
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可以360度旋转平面，由高分辨率压电马达驱动。提供开环和闭环版本。
压电多轴纳米位移台
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多个纳米位移平台组合而成的多轴运动和定位产品，包括2轴，3轴、4轴、5轴等，形式多样，可根据需求定制。
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线性压电位移台
线性压电位移台-超低温系列 LT34-06B
线性压电位移台-MF系列 MF40-25A
扫描探针显微镜
扫描探针显微镜
扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜，静电力显微镜，磁力显微镜，扫描离子电导显微镜，扫描电化学显微镜等）的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。
低温超高真空扫描隧道显微镜 （Ultrascan LT-100）
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卓聚创新研发的超高空低温（4K）STM系统包含关键技术如压电陶瓷步进马达、低温STM探头、超真空液氦双层杜瓦等，系统主要指标达到或超过了国际商业化系统的最好水平。
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超高真空组件和配件
空间用高压绝缘组件(简称高压组件)是行波管放大器功率传输的关键部件。在我国空间行波管放大器国产化研制过程中,经统计故障有80%是在热真空试验中发生的,而热真空试验中的故障70%以上又是由高压组件灌封气泡缺陷造成的,高压组件真空灌封技术已成为制约我国空间行波管放大器应用的瓶颈之一。为此,本文对高压组件灌封缺陷形成机理、灌封工艺及装备技术进行了系统的研究,解决了高压组件灌封不实、灌封体内部存有死空间或裂缝等灌封缺陷问题,形成了自主的高压组件真空灌封技术。
法兰和穿通法兰
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各种标准真空法兰、观察窗和真空电学、光学、水、气穿通组件。
超高真空摆动机械手
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超真空摆动机械手采用磁力驱动，其末端装有夹爪，可操作一系列不同的样品托，例如旗形样品托。夹爪可以通过按压放在外部末端的磁体把手按钮来实现夹嘴的开合，还可以为不同形状样品托提供各种适合的开合夹嘴。
超高真空磁力耦合传样杆
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超高真空磁力耦合传样杆（CF35），可线性运动和旋转，主要功能是将样品在真空环境下传输样品或样品拖等。磁力杆外部的钐钴磁铁和磁力杆内部的磁铁耦合在一起进行传输，内部高精度轴承保证了传样杆即使经过多次加热烘烤也能顺畅地传样。
探针台和低温系统
探针台和低温系统
探针台和低温系统专注于为半导体领域、微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体及微纳米科学仪器，为祖国微纳米科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力！
干式液氦低温探针台
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使用GM制冷机，操作方便，最低温度8K。震动优于1um。4到6个探针臂，可选直流或者射频探针。
台阶仪
国产台阶仪JS100A
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JS100A是卓聚科技自主开发的全国产化台阶仪。具有高精度，高分解能，搭配一体花岗岩结构，提供 稳定可靠的重复性测量。
二维材料转移台
二维材料转移台-2D material transfer table
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2DTrans-ams-03，全电动二维材料转移台，是专为解决手动转移过程中由手的抖动带来的这一不良结果，并充分还原手动转移过程中的手感与操作方式，给予更好的精确度和掌控性。同时也是一款专为手套箱环境设计的二维材料转移台，用于解决水氧敏感材料的转移痛点。并且还是一款 专为转移“魔角”样品而设计的二维材料转移台。
光栅尺
超高真空微型光栅尺-SMG26系列
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行业资讯
常见问题
应用案例
新材料领域
新材料领域
微米和亚微米光刻 (最小可达到0.6um线宽)，紫外光直写曝光,无需掩模，大幅节约了掩模加工费用，灵活性高，可直接通过电脑设计光刻图形，并可根据设计要求随意调整。可升级开放性系统设计。按照客户要求可从低端到高端自由配置使用维护简单, 设备耗材价格低。应用范围广，目前广泛应用于半导体、生物芯片、微机电系统、传感器、微化学、光学等领域。
物理科学领域
物理科学领域
物理科学领域是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜，静电力显微镜，磁力显微镜，扫描离子电导显微镜，扫描电化学显微镜等）的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。
生命科学领域
生命科学领域
空间用高压绝缘组件(简称高压组件)是行波管放大器功率传输的关键部件。在我国空间行波管放大器国产化研制过程中,经统计故障有80%是在热真空试验中发生的,而热真空试验中的故障70%以上又是由高压组件灌封气泡缺陷造成的,高压组件真空灌封技术已成为制约我国空间行波管放大器应用的瓶颈之一。为此,本文对高压组件灌封缺陷形成机理、灌封工艺及装备技术进行了系统的研究,解决了高压组件灌封不实、灌封体内部存有死空间或裂缝等灌封缺陷问题,形成了自主的高压组件真空灌封技术。
半导体和光电子工业
半导体和光电子工业
本实用新型涉及用于扫描探针显微镜的纳米扫描台，其包括安装于矩形底板上的扫描台支架，纳米扫描台内设有柔性铰链；柔性铰链为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒外端，内套筒内侧连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端连接着外套筒内侧，外套筒的外端连接着扫描台支架，且四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链的轴向顶面连接着样品台。
自动化生产
自动化生产
微米和亚微米光刻 (最小可达到0.6um线宽)，紫外光直写曝光,无需掩模，大幅节约了掩模加工费用，灵活性高，可直接通过电脑设计光刻图形，并可根据设计要求随意调整。可升级开放性系统设计。按照客户要求可从低端到高端自由配置使用维护简单, 设备耗材价格低。应用范围广，目前广泛应用于半导体、生物芯片、微机电系统、传感器、微化学、光学等领域。
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